Применение кварцевых трубок в полупроводниковой промышленности

Кварцевые трубы и стержниТрубы из кварцевого стекла, а также кварцевое листовое стекло, широко применяются в полупроводниковой промышленности. С помощью этих элементов получают чистый кремний. Кроме труб из чистого плавленого кварца в этой сфере используются также конусные кварцевые колпачки и кварцевые кольца. Из листов и кварцевых стержней производятся кассеты для полупроводниковых пластин.

Также в полупроводниковой промышленности кварцевые заготовки применяются при изготовлении специальных тиглей. Они являются необходимыми элементами при получении металлического и поликристаллического кремния.

Чтобы изготовить металлический и поликристаллический кремний, который впоследствии может быть использован при производстве полупроводниковых пластин высокого качества, его помещают в тигель, который изготовлен из кварца. После этого его подвергают нагреву до высокой температуры и из полученного расплава выращивают (или как говорят специалисты, «вытягивают») кремниевый монокристалл.

Для целей полупроводниковой промышленности плавленый кварц оказался наиболее подходящим материалом, который имеет необходимые свойства: высокую химическую чистоту и соответствующие температурные характеристики.

Кварцевое листовое стекло, а также трубы из кварцевого стекла, в настоящее время – незаменимое сырье при изготовлении особо качественных кремниевых полупроводников.

Кроме изготовления полупроводников эти же свойства плавленого кварца применяются в оптово-волоконной промышленности. Из плавленого кварца производятся опорные трубы для световодов, а также кварцевые стержни и оснастка. В этом случае применяется как природный кварц, так и синтетический, который по многим своим свойствам превосходит природный.